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電感耦合等離子體光譜儀（ICP-AES）是以電感耦合等離子炬為激發(fā)光源的一類光譜分析方法，它是一種由原子發(fā)射光譜法衍生出來的新型分析技術(shù)。它能夠方便、快速、準(zhǔn)確地測(cè)定水樣中的多種金屬元素和準(zhǔn)金屬元素，且沒有顯著的基體效應(yīng)。
早在1884年Hittorf就注意到，當(dāng)高頻電流通過感應(yīng)線圈時(shí)，裝在該線圈所環(huán)繞的真空管中的殘留氣體會(huì)發(fā)生輝光，這是高頻感應(yīng)放電的最初觀察。
1942年Babat采用大功率電子振蕩器實(shí)現(xiàn)了石英管中在不同壓強(qiáng)和非流動(dòng)氣流下的高頻感應(yīng)放電，為這種放電的實(shí)用化奠定了基礎(chǔ)。
1961年Reed設(shè)計(jì)了一種從石英管的切向通入冷卻氣的較為合理的高頻放電裝置，它采用Ar或含Ar的混合氣體為冷卻氣，并用碳棒或鎢棒來引燃。Reed把這種在大氣壓下所得到的外觀類似火焰的穩(wěn)定的高頻無極放電稱為電感耦合等離子炬（ICP）。
Reed的工作引起了Greenfield、Wenat和Fassel的極大興趣，他們首先把Reed的ICP裝置用于AES，并分別于1964年和1965年發(fā)表了他們的研究成果，開創(chuàng)了ICP在原子光譜分析上的應(yīng)用歷史。
20世紀(jì)70年代，ICP-AES進(jìn)入實(shí)質(zhì)應(yīng)用階段。1975年美國(guó)的ARL公司生產(chǎn)出了第一臺(tái)商品ICP-AES多色儀，此后各種類型的商品儀器相繼出現(xiàn)。
今天電感耦合等離子體光譜儀分析技術(shù)已成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)的一個(gè)重要組成部分。
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